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Halbleiterindustrie

Abluftreinigungsanlage RTO with RL

Halbleiterhersteller brauchen Adsorptionssysteme zur Aufkonzentrierung und regenerative – oder bei kleineren Anlagen – rekuperative Oxidationsanlagen zur Reinigung der bei der Herstellung elektronischer Komponenten entstehenden Abluft. Auch hier ist Dürr der richtige Partner.

Prozesse

Semiconductor process exhaust is characterized by dilute air volumes containing gases that are extremely hazardous to production environments.
Zeolite rotary concentration coupled with thermal oxidation removes VOCs and HAPs at high levels with minimal impact to sensitive wafer tooling processes.

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