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半导体行业

配有旋转式浓缩器的旋转式蓄热氧化炉

半导体生产商需要使用吸附式浓缩器与蓄热式氧化系统(若生产规模较小,则采用再生式氧化系统),来减少电子元件生产过程中产生的废气。

工艺流程

工艺状况:半导体工艺废气的特征是稀释风量中含有对生产环境极为有害的气体。

减排系统推荐:配备有蓄热式氧化炉 RTO、再生式氧化炉 TAR或旋转式蓄热氧化炉的旋转式沸石浓缩器 KPR,能够高效地去除挥发性有机化合物(VOC)与有害气体污染物(HAP),同时最大程度地降低对敏感的晶片加工过程的影响。

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