Áreas de Aplicação

QuickLinks

Indústria de Semicondutores

Oxidação Térmica Regeneratica com válvula rotativa

Fabricantes de semicondutores precisam de concentradores de adsorção e sistemas de oxidação térmica regenerativa (ou no caso de plantas menores, recuperativa) para a purificação do ar de exaustão gerado na produção de componentes eletrônicos. Nesses casos, novamente, a Dürr é sua escolha de parceira.
 

Processos

A exaustão do processo de semicondutores é caraterizada por volumes de ar diluído contendo gases que são extremamente nocivos aos ambientes de produção.
A concentração rotativa de zeólitos em conjunto com oxidação térmica remove altos níveis de VOCs e HAPs com um impacto mínimo a processos sensíveis.

Dürr News